PS2H60系列由兩維X軸疊加組合,沿X,Y軸提供24µm的運動范圍。(其它行程均可定制)。
PS2H60-024U系列是具有納米級定位分辨率的高速,多軸,精密納米定位系統。
PS2H60-024U提供最大的多功能性,可以配置XY或XYZ運動并擁有獨立的Z/X軸運動產品??蛇x配內部位置傳感器進行閉環,可進行重復的位置測量。
本系列產品采用壓電陶瓷直驅機構的設計原理,具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點,高諧振頻率,高穩定性,高精度使其非常適合需要低噪聲和高速性能的計量應用??筛鶕蛻粢蠖ㄖ?。
PS2H60-024U系列壓電陶瓷元件直接移動工作臺面,具有高剛性,即使在高負載下可實現穩定定位。
產品特性
—高速響應,多軸定位
—最短的響應時間
—亞納米范圍內的高分辨率
—高度緊湊的設計帶來卓越的性能
選配功能
—可定制孔位及轉接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(SGS) 位置反饋系