顯微鏡中的物鏡對準通常需要一個開放的中心空間(例如,用于光線通過),PK1L60-080U壓電掃描臺(帶有25mm的中心孔)是針對此類應用而開發的,每個軸都經過機械預加載。獨特的產品設計非常緊湊,在X運動軸上的運動可達80µm(閉環),并且由于柔性機械設計而實現了無間隙的平行運動。
可以選擇使用集成的SGS測量系統來克服遲滯的影響,并且PK1L60-080U定位系統可以配備電容測量系統,PK1L60-080U壓電掃描臺可以輕松地與其他機械定位系統結合使用。
PK1L60-080U系列非常適合從光學研究到OEM系統的各種應用。
本系列產品種類包括X、Z、XZ、XY、XYZ軸運動系統版本。請參照相關型號介紹。
產品特性
—X位移:80μm(閉環)
—中孔尺寸:Φ25mm
—高度緊湊的設計帶來卓越的性能
—柔性鉸鏈確保高可靠性
—納米和亞納米范圍內的高分辨率
選配功能
—可定制轉接裝置及中心孔徑大小
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(SGS) 位置反饋系